光譜共焦位移傳感器 FD 系列

光譜共焦鏡面測量，可實現(xiàn)納米級分辨率

采用光譜共焦原理，理論上光的波長可以無限細分,可實現(xiàn)高分辨率測量；反射類型為鏡面反射，可實現(xiàn)透明物體的測量，以及更小的測量盲區(qū)。

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產(chǎn)品特點

高分辨率

理論上光的波長可以無限細分,可實現(xiàn)高分辨率測量

安全性高

出射光為微小功率白光，對人眼危害性極小

溫度特性好

感測頭鏡頭內(nèi)部無熱源，溫漂小，精密測量穩(wěn)定性能好

抗干擾能力強

內(nèi)置物理抗干擾裝置，不受外界光源影響

高精度直線性

光的波長是調(diào)頻信號,對強度變化干擾不敏感。光纖傳輸對電磁抗干擾能力強

應用場景

技術參數(shù)

	超細型	緊湊型		納米級高精度型
型號	FD04-131000	FD08-181300 ☆	FD08-290800	FD15-201400	FD15-320640
訂貨號	613100002	613100004	613100005	613100007	613100009
基準距離	4mm	8mm	4mm	13.8mm	6mm
測量范圍	±0.5mm	±0.65mm	±0.4mm	±0.7mm	±0.32mm
分辨率	2nm	4nm	10nm	4nm	2nm
線性精度	±0.25μm	±0.32μm	±0.2μm	±0.35μm	±0.16μm
最小測量厚度	33μm	43μm	27μm	47μm	22μm
光斑直徑	8μm	17μm	11μm	13μm	3.4μm
測量角度	±13°鏡面	±18°鏡面	±29°鏡面	±20°鏡面	±32°鏡面
外徑尺寸	3.8mm	8mm	8mm	15mm	15mm
采樣頻率	2kHz ~ 4kHz
溫度特性	0.012% F.S/℃
接口	USB/以太網(wǎng)
環(huán)境溫度	4℃ ~ 30℃, 60±20% RH 無凝露
環(huán)境濕度	60±10% RH 無凝露
防護等級	IP40
工作電壓	24V DC
重量	8g	18g	18g	26g	26g
	小巧經(jīng)濟型		通用經(jīng)濟型
型號	FD27-202500 ☆	FD27-201200 ☆	FD35-078400	FD35-184000 ☆
訂貨號	613100012	613100013	613100014	613100015
基準距離	24.2mm	24.8mm	110mm	35mm
測量范圍	±1.25mm	±0.6mm	±4.2mm	±2mm
分辨率	6nm	3nm	100nm	20nm
線性精度	±0.62μm	±0.3μm	±2.1μm	±1μm
最小測量厚度	83μm	42μm	280μm	133μm
光斑直徑	13μm	13μm	20μm	25μm
測量角度	±20°鏡面	±20°鏡面	±7°鏡面	±18°鏡面
外徑尺寸	27mm	27mm	35mm	35mm
采樣頻率	2kHz ~ 4kHz
溫度特性	0.012% F.S/℃
接口	USB/以太網(wǎng)
環(huán)境溫度	4℃ ~ 30℃, 60±20% RH 無凝露
環(huán)境濕度	60±10% RH 無凝露
防護等級	IP40
工作電壓	24V DC
重量	132g	132g	300g	200g
	大角度小光斑型
型號	FD40-176000	FD40-198000 ☆	FD40-194000 ☆	FD40-304200
訂貨號	613100016	613100017	613100018	613100020
基準距離	45mm	42mm	44mm	22.3mm
測量范圍	±3mm	±4mm	±2mm	±2.1mm
分辨率	12nm	16nm	8nm	9nm
線性精度	±1.5μm	±2μm	±1μm	±1μm
最小測量厚度	200μm	266μm	133μm	143μm
光斑直徑	20μm	16μm	16μm	11μm
測量角度	±17°鏡面	±19°鏡面	±19°鏡面	±30°鏡面
外徑尺寸	40mm
采樣頻率	2kHz ~ 4kHz
溫度特性	0.012% F.S/℃
接口	USB/以太網(wǎng)
環(huán)境溫度	4℃ ~ 30℃, 60±20% RH 無凝露
環(huán)境濕度	60±10% RH 無凝露
防護等級	IP40
工作電壓	24V DC
重量	182g	161g	161g	201g
	大角度小光斑型		寬量程長距離型
型號	FD40-362520	FD40-481400 ☆	FD65-1823400 ☆	FD65-631900
訂貨號	613100022	613100024	613100025	613100026
基準距離	15.8mm	8.8mm	70.8mm	8mm
測量范圍	±1.26mm	±0.7mm	±11.7mm	±0.95mm
分辨率	6nm	4nm	50nm	4nm
線性精度	±0.64μm	±0.35μm	±5.8μm	±0.5μm
最小測量厚度	85μm	47μm	780μm	63μm
光斑直徑	10μm	8μm	14μm	7μm
測量角度	±36°鏡面	±48°鏡面	±18°鏡面	±63°鏡面
外徑尺寸	40mm
采樣頻率	2kHz ~ 4kHz
溫度特性	0.012% F.S/℃
接口	USB/以太網(wǎng)
環(huán)境溫度	4℃ ~ 30℃, 60±20% RH 無凝露
環(huán)境濕度	60±10% RH 無凝露
防護等級	IP40
工作電壓	24V DC
重量	300g	320g	620g	907g